ハタ　マサユキ   HATA Masayuki   畑　晶之    所属   松山大学  薬学部 医療薬学科    職種   准教授
発行・発表の年月	2003/01
形態種別	学術論文
標題	Probability of Atomic or Molecular Oxygen Species in Silicon and Silicon Dioxide.
執筆形態	共著
掲載誌名	Jpn. J. Appl. Phys.
巻・号・頁	42,6535-6542頁
著者・共著者	T. Hoshino, M. Hata, S. Neya, Y. Nishioka, T. Watanabe, K. Tatsumura and I. Ohdomari
概要	酸素分子や酸素原子がシリコンおよび二酸化シリコン結晶中で存在する可能性について量子化学計算を用いて検討した。一重項状態および三重項状態において酸素分子や酸素原子がシリコンクラスターや二酸化シリコンクラスターと相互作用している状態を求めたところ、三重項酸素分子は、二酸化シリコン中で、一重項酸素原子はシリコン中で存在しやすいことがわかった。また、酸素分子や酸素原子がクラスター中を拡散する機構についても求め、その活性化エネルギーも見積もった。