ハタ マサユキ   HATA Masayuki
  畑 晶之
   所属   松山大学  薬学部 医療薬学科
   職種   准教授
発行・発表の年月 1998/01
形態種別 学術論文
標題 Acid-Catalyzed Deprotection Mechanism of tert-Butyloxycarbonyloxy Polymers in Chemically Amplified Resists.
執筆形態 共著
掲載誌名 J. Polym. Sci. Part A: Polym. Chem.
巻・号・頁 36,1035-1042頁
著者・共著者 R. Ichikawa, M. Hata, N. Okimoto, S. Oikawa-Handa and M. Tsuda