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ハタ マサユキ
HATA Masayuki
畑 晶之 所属 松山大学 薬学部 医療薬学科 職種 准教授 |
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| 発行・発表の年月 | 1998/01 |
| 形態種別 | 学術論文 |
| 標題 | Acid-Catalyzed Deprotection Mechanism of tert-Butyloxycarbonyloxy Polymers in Chemically Amplified Resists. |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | J. Polym. Sci. Part A: Polym. Chem. |
| 巻・号・頁 | 36,1035-1042頁 |
| 著者・共著者 | R. Ichikawa, M. Hata, N. Okimoto, S. Oikawa-Handa and M. Tsuda |